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高浓度臭氧发生装置 [复制链接]

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离线futa
 

只看楼主 正序阅读 使用道具 楼主  发表于: 1991-11-01

日本《日经产业新闻》十月二十一日报道,铃木商馆公司应用工业技术院电子技术综合研究所开发的技术,制成百分之七十以上高浓度臭氧束的发生装置,用于制作氧化物超导薄膜,还可用于提高半导体等的氧化处理的效率。
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