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半导体工厂用自动传送系统 [复制链接]

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离线futa
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主  发表于: 1990-03-01

日本《日刊工业新闻》二月十九日报道,神户制钢所研制成的这种传送系统,用于在半导体工厂超净室内向加工站传送晶片。
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