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半导体制造工程排气处理装置 [复制链接]

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离线futa
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主  发表于: 1988-12-02

    日本《日刊工业新闻》十一月二十三日报道,三井东压化学公司研制成的排气处理装置一分钟可分解处理五百立方厘米的硅烷气。
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